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不同氣體的配管要求

發(fā)布時間:2022-11-23瀏覽次數(shù):5303

  在半導體工業(yè)中,線寬越來越小,對氣體純度,粒度,雜質含量的要求也越來越高。關于不同氣體的配管要求,下面就為大家簡單介紹。

  確定排氣口指數(shù)后,應注意管道系統(tǒng)的材料選擇和使用質量。除了氣體生產或凈化設備的準確性外,管道系統(tǒng)的準確性在很大程度上還受到許多因素的影響。因此,管道材料的選擇應嚴格遵循相關的行業(yè)原則,并在圖紙上注明管道材料。

  對于腐蝕性氣體,管道需要由耐腐蝕的不銹鋼管制成,否則,管道的內壁會因腐蝕而產生腐蝕點。在嚴重的情況下,大塊金屬可能會掉落甚至穿孔,從而污染運輸中的氣體。

  原則上,焊接高純度,高清潔度和大流量氣體輸送和分配管道的連接。焊接過程中所需的管子結構不會改變,當焊接碳含量太高的材料時,由于焊接部分的滲透性,管道內外的氣體會互相滲透,從而破壞輸送氣體的純度和干燥度,結果,我們所有的努力都是徒勞的。

  綜合上述的介紹,相信大家對不同氣體的配管要求有更多認識,如有疑問,可以直接電話聯(lián)系我司。