淺析不同氣體的配管要求
在半導(dǎo)體工業(yè)中,線寬越來(lái)越小,對(duì)氣體純度,粒度,雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。關(guān)于不同氣體的配管要求,下面就為大家簡(jiǎn)單介紹。
確定排氣口指數(shù)后,應(yīng)注意管道系統(tǒng)的材料選擇和使用質(zhì)量。除了氣體生產(chǎn)或凈化設(shè)備的準(zhǔn)確性外,管道系統(tǒng)的準(zhǔn)確性在很大程度上還受到許多因素的影響。因此,管道材料的選擇應(yīng)嚴(yán)格遵循相關(guān)的行業(yè)原則,并在圖紙上注明管道材料。
對(duì)于腐蝕性氣體,管道需要由耐腐蝕的不銹鋼管制成,否則,管道的內(nèi)壁會(huì)因腐蝕而產(chǎn)生腐蝕點(diǎn)。在嚴(yán)重的情況下,大塊金屬可能會(huì)掉落甚至穿孔,從而污染運(yùn)輸中的氣體。
原則上,焊接高純度,高清潔度和大流量氣體輸送和分配管道的連接。焊接過(guò)程中所需的管子結(jié)構(gòu)不會(huì)改變,當(dāng)焊接碳含量太高的材料時(shí),由于焊接部分的滲透性,管道內(nèi)外的氣體會(huì)互相滲透,從而破壞輸送氣體的純度和干燥度,結(jié)果,我們所有的努力都是徒勞的。
綜合上述的介紹,相信大家對(duì)不同氣體的配管要求有更多認(rèn)識(shí),如有疑問(wèn),可以直接電話聯(lián)系我司。