高純氮?dú)馐瞧胀ǖ獨(dú)獠捎梦椒?、膜分離法等純化方法制備的高純氣體。

　　在集成電路、半導(dǎo)體等生產(chǎn)行業(yè)中，對(duì)環(huán)境氣體的要求非常高，就需要采用高純氣體做保護(hù)氣。