電子行業(yè)常用的特種氣體有30多種，按風(fēng)險(xiǎn)性質(zhì)可分為可燃、不可燃?xì)怏w等。按物理形態(tài)可分為壓縮、液化和低溫氣體。特種氣體主要集中在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、復(fù)合半導(dǎo)體、液晶顯示器和光纖消費(fèi)四大領(lǐng)域。

　　其中，它主要用于半導(dǎo)體集成電路的消費(fèi)制造。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的特種氣體有110多種，其中常用的有20～30種。就集成電路制造應(yīng)用而言，包括集成電路芯片制造工藝、化學(xué)氣相沉積與氣體應(yīng)用、蝕刻與氣體應(yīng)用、摻雜與氣體應(yīng)用。

　　在太陽(yáng)能電池應(yīng)用方面，包括太陽(yáng)能電池應(yīng)用、氣體應(yīng)用、薄膜太陽(yáng)能電池消費(fèi)工藝和氣體應(yīng)用;在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面，包括化合物半導(dǎo)體應(yīng)用、MOCVD/LED消費(fèi)工藝和氣體應(yīng)用。

　　上述介紹可見(jiàn)，特種氣體的應(yīng)用行業(yè)還是比較廣泛的。