說(shuō)到特種氣體應(yīng)用所產(chǎn)生的廢氣，有生產(chǎn)車間、設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室、活性氣體混合裝置、氣瓶等。所謂廢氣處理，是指對(duì)這些場(chǎng)所產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行處理，以免對(duì)環(huán)境、動(dòng)植物健康造成危害。

　　處理基本原理

　　先將廢氣處理到安全狀態(tài)，即在廢氣無(wú)毒、不可燃后進(jìn)行處理。廢氣處理應(yīng)盡量減少災(zāi)害，盡量減少或避免對(duì)環(huán)境的危害;特別是大中型企業(yè)需要使用大量的氣體，產(chǎn)生大量的廢氣。因此，應(yīng)建立符合人體健康的廢氣處理裝置和處理系統(tǒng)，努力保護(hù)環(huán)境。

　　砷化氫、磷化氫、硼烷、硅烷等有毒易燃。氫具有強(qiáng)烈的燃燒和爆炸特性。氯、氯化氫和氟化氫具有很強(qiáng)的腐蝕性。對(duì)于上述氣體，既要注意防止環(huán)境污染，也要注意周圍的安全排放。

　　還有一種特種氣體廢氣處理，就是對(duì)于無(wú)害氣體，可以選擇一個(gè)合適的地方直接排放到大氣中。