高純氣體工藝設(shè)備起到較大的作用
高純氣體系統(tǒng)由專用氣體設(shè)備、氣體檢測(cè)傳感系統(tǒng)、自動(dòng)控制及軟件系統(tǒng)、燃?xì)夤艿篱y門(mén)等組成。系統(tǒng)前端連接該氣體供應(yīng)裝置,系統(tǒng)終端連接采購(gòu)的工藝生產(chǎn)設(shè)備顧客。
專用儲(chǔ)氣罐能安全、穩(wěn)定地將高純氣體通過(guò)專用氣體管道輸送至終端設(shè)備,同時(shí)保證高純氣體不因氣體和水分的吸附、脫氣等而受到污染,保證氣體的純度,使氣體滿足生產(chǎn)工藝純度要求。
自動(dòng)特種氣體柜(GC)采用PLC作為控制主體,配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)置,在緊急情況下(當(dāng)設(shè)定的報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí))可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換、自動(dòng)安全切斷等功能,具有完善的功能和報(bào)警監(jiān)控功能功能。也可根據(jù)不同的氣體特性和用氣要求配置不同的面板設(shè)計(jì),以滿足不同行業(yè)的需要,保證工廠的正常生產(chǎn)和員工的人身安全。
SEMI S2是半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商規(guī)定的基本健康和要求的安全標(biāo)準(zhǔn)。遵守SEMI S2不僅符合相關(guān)國(guó)際法規(guī),也是半導(dǎo)體行業(yè)保險(xiǎn)公司要求的要條件之一。
綜上所述,在高純氣體工藝中,這種電子特種氣體設(shè)備專用氣體柜在功能設(shè)計(jì)和使用標(biāo)準(zhǔn)上是值得信賴的。