高純氣體管道是其供應(yīng)系統(tǒng)的重要組成部分。從系統(tǒng)設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝等方面入手，將合格的高純氣體送至使用點，保持合格的質(zhì)量是關(guān)鍵，這其中包括管道選擇等多個內(nèi)容。

　　半導(dǎo)體技術(shù)是20世紀(jì)以來重要的技術(shù)之一。半導(dǎo)體制造技術(shù)貫穿于提供高純度氣體、精煉原硅、制造晶圓、封裝和測試集成電路的全過程。以高性能、低成本為目標(biāo)，向高密度、高集成度高速發(fā)展，對氣體雜質(zhì)含量的限制更加嚴(yán)格。道路輸配電系統(tǒng)已變得非常要和重要。

　　例如，集成電路廠的生產(chǎn)線寬0.18um，直徑200mm。高純氣體中各種雜質(zhì)的控制水平為10xl0-9。

　　有望很快實現(xiàn)納米級線寬，氣體雜質(zhì)H20、O2、CO、CO 2、TH C等含量均低于10-12級(每級)。這種高純度的氣體是通過管道輸送的。高它能否送至用氣點并保持合格質(zhì)量，關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)的合理設(shè)計、管件及附件的正確選擇、施工安裝的正確性、檢測的合格性。

　　供氣系統(tǒng)：

　　一般來說，高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)有三種主要形式：

　　一、現(xiàn)場產(chǎn)氣、管道供氣;

　　二、外購液化氣，氣化后通過管道供氣;

　　三、外購氣瓶，用氣瓶(組)供氣。

　　某一項目的具體方法是根據(jù)工廠的生產(chǎn)規(guī)模和高純氣體用氣量、氣體質(zhì)量、工廠所在城市或地區(qū)的天然氣市場供應(yīng)等因素進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定的。