關(guān)于特種氣體的一些概述
電子工業(yè)是在高科技產(chǎn)業(yè)推動科學(xué)技術(shù)發(fā)展的,如今,由于所用氣體種類繁多,質(zhì)量要求高,對于氣體的應(yīng)用有著不同于其他領(lǐng)域的特點,人們稱這種氣體在電子工業(yè)中的應(yīng)用統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是電子專用氣體高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的興起。
這類氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示、光纖生產(chǎn)四個領(lǐng)域,主要用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的單位特種氣體有110多種,其中常用的有20~30種。
在集成電路制造應(yīng)用方面,具體包括集成電路芯片制造工藝、化學(xué)氣相沉積與氣體應(yīng)用、刻蝕與氣體應(yīng)用、摻雜與氣體應(yīng)用;
特種氣體在太陽能電池的應(yīng)用中,具體包括太陽能電池的應(yīng)用、薄膜太陽能電池的生產(chǎn)工藝及氣體應(yīng)用;在化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用中,具體包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/LED的生產(chǎn)工藝以及氣體應(yīng)用。液晶顯示器的應(yīng)用包括TFT/LCD應(yīng)用、TFT/LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用。在光纖應(yīng)用方面,包括光纖應(yīng)用、光纖預(yù)制棒生產(chǎn)技術(shù)和氣體應(yīng)用。