高純氣體管道系統(tǒng)中所用閥門的要求非常嚴(yán)格。目前，國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室基本上都采用SS316L不銹鋼。閥門類型包括減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥又稱減壓閥，專門用來(lái)控制氣體的壓力。波紋管閥的密封性比球閥好。當(dāng)氣體流經(jīng)閥門時(shí)，沒有填料與外部環(huán)境接觸，因此沒有泄漏。

　　隔膜閥除了氣密性與波紋管閥相當(dāng)外，還具有死容積小、易排污、污染少等特點(diǎn)，適用于對(duì)氣體純度和生產(chǎn)工藝要求嚴(yán)格或風(fēng)險(xiǎn)較大的氣體。

　　這類氣體一般采用壓裝連接，氬弧焊自動(dòng)軌道焊。焊接形式一般采用承插焊和對(duì)焊。承插焊的優(yōu)點(diǎn)在于焊接時(shí)管道居中，便于焊接，但缺點(diǎn)是管道與承插之間有間隙，會(huì)有不易吹掉雜質(zhì)的“死空間”，影響其質(zhì)量。因此，應(yīng)采用對(duì)焊連接，內(nèi)表面應(yīng)為自由焊縫，即施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲，母材本身熔化填充焊縫。

　　為保證輸送至高純氣體設(shè)備的質(zhì)量，管道與設(shè)備之間應(yīng)采用不銹鋼金屬軟管，不得采用非金屬軟管。