有許多方法可以對特種氣體進行分類。例如，根據(jù)氣體本身的化學(xué)成分，可分為：硅、砷、磷、硼、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴。根據(jù)發(fā)揮作用，可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、腐蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)氣體和載體稀釋劑氣七大類。

　　同時，對上述分類進行了交叉。例如，四氯化硅(SiCl4)既是硅基氣體，又是外延氣體，在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也有應(yīng)用。

　　該氣體主要包括電子氣、醫(yī)用氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣、電光源氣等，其中，電子氣體廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖電纜等電子工業(yè)的加工制造過程中。它主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游工業(yè)中的一種關(guān)鍵化學(xué)基礎(chǔ)材料，被譽為電子工業(yè)的“食品”和“源頭”。

　　特種氣體的主要生產(chǎn)工藝包括氣體合成、氣體凈化、氣體混合、氣瓶加工、氣體填充、氣體分析和測試。根據(jù)客戶的不同需求和產(chǎn)品的不同特點，可以采用不同的工藝進行組合。

　　生產(chǎn)特種氣體需要多種工藝技術(shù)和工藝，客戶要求高，新進入者難以達到一定水平;其次，下游客戶特別是非常大規(guī)模的集成電路、新的顯示面板等精度水平非常高的下游行業(yè)，對燃氣供應(yīng)商的選擇非常嚴格，具有認證周期長、客戶粘性強的特點。