高純氣體管道技術(shù)是供應(yīng)系統(tǒng)的一個(gè)重要部分，是將符合要求的輸送到供氣點(diǎn)，并保持合格質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)。這包括系統(tǒng)正確設(shè)計(jì)，管件及附件的選擇、施工安裝、試驗(yàn)檢測(cè)。

　　如何避免系統(tǒng)在輸送過(guò)程中對(duì)高純氣體造成二次污染，已成為其中一個(gè)值得考慮的問題。此外，泛半導(dǎo)體工業(yè)中使用的各種特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等多種危險(xiǎn)特性。同時(shí)，由于泛半導(dǎo)體行業(yè)工藝復(fù)雜先進(jìn)，對(duì)該氣體的質(zhì)量保證和系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行提出了嚴(yán)格要求。

　　因此，在設(shè)計(jì)、安裝和運(yùn)行中，須充分考慮潔凈度、穩(wěn)定性等關(guān)鍵因素。系統(tǒng)投運(yùn)前，高純氣體輸送系統(tǒng)須通過(guò)壓力試驗(yàn)、氦氣泄漏試驗(yàn)、增濕試驗(yàn)、增氧試驗(yàn)、粒度增加試驗(yàn)，保證系統(tǒng)的高清潔度和高安全性。

　　高純氣體輸送時(shí)有著不同的解決方案，主要有：散裝氣體供應(yīng)系統(tǒng)、 凈化系統(tǒng)、氣體泄漏檢測(cè)系統(tǒng)等。